機械情報システム学科

白崎博公先生(コヒーレントウェーブ研究室)

研究のキーワードマイクロ波  光波検査  電磁波回路解析  ウェーブレット処理  半導体トレンチ形状の光計測
ナノフォトリソグラフィー工程の光波計測検査

ンテルの創設者の一人であるムーア博士は、「半導体の集積密度は18〜24ヶ月で倍増する」という経験則を提唱しました。現在までLSIの性能は、この「ムーアの法則」に従って爆発的な進化を遂げており、「ナノデバイス」といわれる、線路幅がサブ100ナノメートル程度の非常に微細なLSIも登場するようになってきました。

私の主な研究は、こういった超微細なLSIを加工する際の要であるフォトリソグラフィー工程を、光波で瞬時に測定し検査する、「スキャトロメトリ(光波散乱計測)」という技術に関するもの。これは、科研費での研究から、企業をスポンサーとした委託研究へと続いており、測定方法では、ウェーブレット処理というFFTを超えた最新の信号処理応用技術も取り入れています。また、IT分野では、衛星放送用平面アンテナの小型高性能化のために不要反射を減らす研究や、さらに、FDTD法を用いて電磁波用回路やアンテナ解析、光波散乱特性解析の研究も行っています。

今までは理論的な研究が主でしたが、今後は実験にも力を入れるべく、オリジナルの実験機器を製作しようと計画しています。

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白崎博公先生(コヒーレントウェーブ研究室)

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